氯化氫和產業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅
無水氯化氫無腐蝕性,但遇水時有強腐蝕性。能與一些活性金屬粉末發(fā)生反應,放出氫氣。遇氰化物能產生劇毒的氰化氯化氫。
改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫(或外購氯化氫),氯化氫和產業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅,然后對三氯氫硅進行分離精餾提純,提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶硅。
國內外現有的多晶硅廠盡大部分采用此法生產電子級與太陽能級多晶硅。
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發(fā)布時間:2017-02-10 14:22:43